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北京瑞科中儀科技有限公司

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原子層蝕刻設備

  • 產品型號:
  • 更新時間:2025-10-20

簡要描述:簡要描述:原子層蝕刻設備是一種的蝕刻技術,可精準的控制其蝕刻深度。隨著元件尺寸的進一步減小,需要進一步的使用ALE才能達到其所需的精度。

產品詳情

原子層蝕刻設備介紹:

原子層蝕刻設備ALE)是一種的蝕刻技術,可精準的控制其蝕刻深度。隨著元件尺寸的進一步減小,需要進一步的使用ALE才能達到其所需的精度。

這就引起了人們對被稱為原子級蝕刻(ALE)的技術的關注,該技術克服了原子級常規蝕刻的局限性?;峨姖{的原子層蝕刻是氣體以定量注入和離子轟擊的周期性蝕刻過程,並具有去除單個薄膜層、極低的損壞率等優點。

SYSKEY的系統可以精準的控制製程氣體與電漿製程,並提供高精準度的薄膜蝕刻。

原子層蝕刻設備原子層蝕刻設備

原子層蝕刻設備參數:

應用領域腔體
  • 矽化合物蝕刻SiO2、SiN4)。

  • 微機電系統。

  • 金屬、矽與光阻蝕刻。

  • 陽極電鍍處理鋁腔。

  • 通過使用水冷系統、加熱器或加熱包來控制腔體溫度。

配置和優點選件
  • 客製化的基板尺寸,直徑可達12吋。

  • 蝕刻系統中,ICP、RIE、ALE與DRIE可在同一腔內。

  • 優異的薄膜均勻度小於±3%。

  • 具有高均勻氣體分佈的質量流量控制器。

  • 穩定的溫度控制,將載臺加熱至200°C或冷卻至-20°C。

  • 使用Tornado ICP線圈,ICP電漿高達2000W,可增強低溫下的沉積。

  • 由於使用低能量進行蝕刻,其損傷率也是較低的。

  • 基板具有氦氣冷卻之功能,均勻的控制溫度。

  • 均勻的氣體擴散,具有優化的氣體分佈。

  • 靜電吸盤。

  • 蝕刻終點偵測(OES,激光)相容性。

  • 可以與傳送腔、機械手臂和手套箱整合在一起。







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